回転型マイクロアクチュエータ 形状,駆動方法の検討

秦 誠一; 赤松 宏明; 福重 孝志; 下河辺 明

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.927.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: L25

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.927.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

マイクロ／ナノシステム (旧マイクロメカニズム)(4)

回転型マイクロアクチュエータ

形状,駆動方法の検討

*秦誠一, 赤松宏明, 福重孝志, 下河辺明

著者情報

キーワード: マイクロアクチュエータ, MEMS, 静電アクチュエータ, 回転アクチュエータ, 片持ちばり

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抄録

回転軸が基板面に平行で固定された回転中心を有し,連続回転可能な回転型マイクロアクチュエータについて研究している.本アクチュエータの回転軸は,軸両側より対向した片持ばり形状の可動電極先端部で支持され,静電力により片側の可動電極を振動させ,回転軸を一定方向に回転させる.前報では,その原理確認を行った.本研究では,可動電極の形状,駆動方法の検討を行い,回転方向制御や,より低電圧での駆動の実現をめざす.

責任著者(Corresponding author)

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