マイクロ化を目指した新しい磁気軸受構造の提案と試作(第3報) センサレスマイクロ磁気軸受モータ

進士 忠彦; 黒木 次郎; 下河辺 明; 李 黎川

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.929.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: L26

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.929.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

マイクロ／ナノシステム (旧マイクロメカニズム)(4)

マイクロ化を目指した新しい磁気軸受構造の提案と試作(第3報)

センサレスマイクロ磁気軸受モータ

*進士忠彦, 黒木次郎, 下河辺明, 李黎川

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キーワード: 磁気軸受, マイクロモータ, センサレス

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抄録

ロータの軸方向変位のみをフィードバックすることで非接触浮上可能な1自由度制御型マイクロ磁気軸受に,軸受内の静電容量変化を利用して軸方向変位を計測する機能,および,インダクションモータ機能を統合したセンサレスマイクロ磁気軸受モータを設計,試作した.軸径6mmロータの完全非接触浮上と10,000rpmでの回転に成功している.

責任著者(Corresponding author)

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