液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメント

接着剤を用いたセルフアライメントと部品の固定

抄録

本研究の目的は液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメント技術を確立することである。マイクロ部品はその表面に濡れ性の異なる領域を持ち、大気中でアライメントされる。本報では、液体として接着剤を用いることにより、アライメントと同時にマイクロ部品を固定し、その性能と特性を評価した。