精密工学会学術講演会講演論文集
2006年度精密工学会春季大会
セッションID: L34
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マイクロ/ナノシステム (旧マイクロメカニズム)(5)
ベルト式高速水晶ブランク研磨装置の研究
*濱野 尚初澤 毅柳田 保子
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抄録

小型水晶振動子の副振動を抑制し周波数特性を向上させる手法として,バレル研磨を用いたブランクの両面コンベックス加工が行われている.しかし加工に2&tile;300時間程度の長時間要するため,加工時間の短縮が必要となる.そこで,水晶振動子を真空チャックにより整列固定させ,ベルト研磨により加工を行うベルト式研磨装置を提案し,1分間で良好な片面シリンドリカル形状を得ることができた.

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© 2006 公益社団法人 精密工学会
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