精密工学会学術講演会講演論文集
2006年度精密工学会春季大会
セッションID: L37
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マイクロ/ナノシステム (旧マイクロメカニズム)(6)
レーザマニピュレーションと界面相互作用を用いた微粒子の基板固定方法の開発
*伊東 聡山本 龍二岩田 太佐々木 彰
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抄録
レーザマニピュレーション技術はマイクロマシンなどの分野において組立て技術への応用が注目されている。我々は液中でレーザマニピュレーションにより微粒子を基板上に配列させ、界面相互作用を用いて強固に固定する方法を開発した。界面相互作用による粒子の固定方法は液中で配列したパターンを維持した状態で大気中に取り出すことが可能であり、マイクロマシンの組立てや光導波路などの光学デバイスの作成への応用が期待される。
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© 2006 公益社団法人 精密工学会
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