精密工学会学術講演会講演論文集
2006年度精密工学会春季大会
セッションID: L35
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マイクロ/ナノシステム (旧マイクロメカニズム)(5)
タングステンナノワイヤを用いたフィールドエミッション素子の開発
*小嶋 祐輔糟谷 圭吾大井 健中尾 政之
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抄録
本研究はフィールドエミッション素子のエミッタとして、タングステンを加熱した際に生成するナノワイヤを用いることを目的とする。酸化具合、加熱条件に対するタングステンナノワイヤの生成の変化を調査し、各条件下で生成したナノワイヤに電界を印加することで、最もフィールドエミッタに適したナノワイヤの生成条件を決定する。
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© 2006 公益社団法人 精密工学会
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