光熱効果による微小構造の駆動

抄録

光熱効果による微小構造の駆動を検討している。微小構造として最も単純な構造であるマイクロカンチレバーについて、変調させた半導体レーザを照射することで駆動を行いnm&tile;μmオーダの駆動を得てきた。今回、カンチレバーの構造と製作方法を改良することで数百倍の駆動を得たので報告する。また、同一材料においてアーチ型の微小構造を製作し駆動を行った。