超音波2軸振動によるマイクロ非球面金型の超精密研磨 超音波2軸振動子の開発

鈴木 浩文; 稲垣 彰徳; 沖野 正; 土方 祥雄; 近藤 光男; 山形 豊; 樋口 俊郎; 牧野 俊清; 森脇 俊道

doi:10.11522/pscjspe.2007A.0.121.0

2007年度精密工学会秋季大会

セッションID: B38

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007A.0.121.0

会議情報

超音波2軸振動によるマイクロ非球面金型の超精密研磨

超音波2軸振動子の開発

鈴木浩文, *稲垣彰徳, 沖野正, 土方祥雄, 近藤光男, 山形豊, 樋口俊郎, 牧野俊清, 森脇俊道

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キーワード: マイクロ非球面研磨, 超硬合金, 金型研磨, 圧電素子, 超音波振動

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抄録

本研究では，これまでに超音波振動援用研磨法を開発し，従来の回転工具等を用いた研磨法では自動化が困難であった直径2 mm以下のマイクロ非球面金型に対し研磨加工の自動化を可能とした．近年の更なる高精度，高効率な金型加工のニーズに対応するため，本研究ではそれら実現する超音波2軸振動子を搭載した研磨装置を開発し，その効果を評価した．

責任著者(Corresponding author)

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