ナノパルスプラズマCVD法によるBN系薄膜の合成

抄録

c-BNは地球上でもっとも硬いダイヤモンドに次ぐ硬さを持ち，高温での高い耐酸化性を有す．しかし，合成コストや残留応力による剥離の課題があり，BN系薄膜の応用範囲は限られている．本研究ではナノパルスにより，ボランアンモニアコンプレックスを昇華させて原料としてナノパルスプラズマCVD法によりBN系薄膜合成を行った．さらに合成されたBN系薄膜の構造及びトライボロジー特性を評価した．