真空アーク蒸着アモルファスカーボン膜のドロップレット数密度と摩擦特性の関係

抄録

真空アーク蒸着法で合成したドロップレットを含有するa-C膜のドロップレット数密度と摩擦特性の関係に着目した．大気雰囲気下では，ドロップレット数密度により摩擦係数に差が観察されたが，真空・乾燥窒素雰囲気下では，ドロップレット数密度に関わらず一定の摩擦係数を示した．このとき，真空雰囲気下における摩擦係数は0.1程度であり，乾燥窒素雰囲気下における摩擦係数0.4程度よりも低いことが分かった．