干渉計測における技術開発と課題（キーノートスピーチ）

抄録

光干渉を利用した表面形状測定装置は、産業界において広く利用されているが、測定時間の短縮、高精度化、透明膜への対応、耐振性向上など、多くの課題があった。本稿では、これらの課題の解決のために筆者らが開発した新技術をレビューするとともに、残された課題を紹介する。