周期微細溝を有するシリコン基板上におけるカーボンオニオンの潤滑特性

抄録

カーボンオニオンの粒径と摺動面の表面粗さとの関係が,カーボンオニオンの潤滑作用に及ぼす影響について検討した.プラズマエッチングにより微細な溝を多数形成したシリコン基板上でカーボンオニオンの摩擦係数と潤滑の寿命を測定し,粒径と同程度の深さの溝を有する基板において,低摩擦かつ長寿命な潤滑が得られることを明らかにした.このとき,摺動面には安定なカーボンオニオンの潤滑層が形成されていることがわかった.