超音波スピンドル装置の開発に関する研究

抄録

各種微細切削加工の強い要求の背景に対し，小径細長工具を用いたミリングあるいはドリル加工において，切削抵抗による工具たわみを抑制して，高精度加工を実現することを目的として，工具軸方向に超音波振動を援用することが可能な小型の高速回転できるスピンドル装置を開発した．そして，同加工装置が微細金型加工や硬脆材の微細穴あけ等に対して有効であることを明らかにした．