Nd:YAGレーザによる透明板背面からの乾式除去加工

抄録

透明板を介して下方の材料表面にレーザを集光し，照射した時に発生するプルームと透明板の状態を高速度ビデオで観察した。レーザ照射直後に下方材料からのプルームが透明板裏面に噴射した。その噴射が若干持続した後、下方からの噴射が止まり、逆に透明体裏面からのプルームが下方材料に向かって噴射した。このプルームはレーザ照射中持続した。加工後の透明体を観察すると、裏面にクレータが形成された。