フェムト秒レーザによる被覆膜剥離に関する基礎研究

抄録

本研究の目的は，下地となる素材を損傷することなく，被覆膜のみを剥離できる加工の手法を模索することである．そこで，炭素工具鋼の表面に厚さ0.003mmのTiN膜をCVD法により被覆した試料表面にフェムト秒レーザを照射して除去加工を行った．その結果，表面のTiN膜だけを剥離させることが可能となった．