電流パルスによる圧電アクチュエータの駆動(第4報) 駆動のシミュレーション

古谷 克司; 古田 淳

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.1009.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: K62

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.1009.0

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主催: 社団法人精密工学会

電流パルスによる圧電アクチュエータの駆動(第4報)

駆動のシミュレーション

*古谷克司, 古田淳

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キーワード: 圧電アクチュエータ, 残留振動, モデリング, シミュレーション, パルス駆動, ステップ応答

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抄録

これまでに，電流パルスを用いた圧電アクチュエータの駆動法を提案している．本駆動法は一種の電荷駆動となるため，ヒステリシスが非常に小さいという特徴を持つ．本報では，Martinのモデルを用いてランプ入力に対する応答をシミュレーションした結果について述べる．立ち上がり時間を一定とし，デューティー比を変化させた．電圧パルス駆動と比較し，安定な動作が得られた．

責任著者(Corresponding author)

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