摩擦駆動型圧電アクチュエータのスリップフリー駆動に関する研究(第1報) 原理検証と駆動電圧波形の設計

遠藤 泰史; 徳満 拓郎; 中田 明良; 久保田 弘; 近藤 裕樹; 吉岡 昌雄; 小坂 光二

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.1029.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: K76

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.1029.0

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主催: 社団法人精密工学会

摩擦駆動型圧電アクチュエータのスリップフリー駆動に関する研究(第1報)

原理検証と駆動電圧波形の設計

*遠藤泰史, 徳満拓郎, 中田明良, 久保田弘, 近藤裕樹, 吉岡昌雄, 小坂光二

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キーワード: 圧電アクチュエータ, 摩擦駆動, 摩耗, 精密位置決め, スリップフリー

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抄録

圧電アクチュエータは,圧電素子自身の微小な変形を直接利用するだけでなく,摩擦力を利用したなんらかのメカニズムによってナノメートルからミリメートルオーダの位置決めが可能となる.しかし,摩擦による摩擦材料の摩耗が駆動性能の長期安定性を損ない,実用化の妨げとなる.本研究では,最適な駆動電圧波形を用いて駆動部の摩擦状態をコントロールし摩擦の原因となるスリップを抑圧するスリップフリー駆動を提案する.

責任著者(Corresponding author)

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