MEMS設計解析システムのための材料データベースの構築

抄録

MEMSの設計においては、計算機シミュレーションによる動作特性の解析が必須である。しかしながら、MEMSに用いられる薄膜の材料特性がしばしばバルク材とは異なること、成膜プロセスに起因する内部応力などから、解析結果と実際のデバイス特性が一致しないという問題が発生する。これらを解決する材料特性のデータベース構築を目指し、MEMSで用いられる各種薄膜材料の内部応力およびヤング率等の測定を行った。