原子間力顕微鏡を用いたMEMSスイッチにおけるスティクションに関する研究

抄録

本研究では、シリコン基板、シリコン酸化膜、自己組織化単分子膜および金薄膜について表面の付着力を原子間力顕微鏡を用いて測定した。湿度を10%～85%と変化させ計測を行い、各湿度におけるスティクションの挙動を調査した。