円筒型マイクロコイルラインの高アスペクト比化とソレノイドアクチュエータへ応用

山下 修平; 松本 吉史; 瀬戸本 勝; 奥田 孝一; 野田 大二; 服部 正

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.1107.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: L76

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.1107.0

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主催: 社団法人精密工学会

円筒型マイクロコイルラインの高アスペクト比化とソレノイドアクチュエータへ応用

*山下修平, 松本吉史, 瀬戸本勝, 奥田孝一, 野田大二, 服部正

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キーワード: LIGA, アクチュエータ, マイクロコイル

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抄録

マイクロコイルはインダクターとして電子機器に搭載されており,電子デバイスがモバイル化されるに伴い,さらなる小型化と高性能化が求められている.我々はLIGAプロセスを用いたマイクロコイルの作製プロセスを提案した.このプロセスでは性能向上にコイルラインの高アスペクト比化が重要となってくる.それに対し高粘度レジストとディッピング法を用いることで,アスペクト比5以上のマイクロコイルラインの作製に成功した.

責任著者(Corresponding author)

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