超極細ワイヤーを用いたマイクロ機械要素の試作

本田 智

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.1115.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: L81

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.1115.0

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主催: 社団法人精密工学会

超極細ワイヤーを用いたマイクロ機械要素の試作

*本田智

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キーワード: マイクロマシン, 超極細ワイヤー, マイクロねじ, マイクロナット

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抄録

線径が100μm以下のタングステン線,ステンレス線,フロロカーボン線を用いて,ピッチが40μmのマイクロねじ,マイクロナット,モジュールがm=31.2μmのマイクロ斜歯歯車,および,マイクロタービン翼,マイクロ静圧軸受けを試作した.本研究では,これら超極細ワイヤーを用いたマイクロ機械要素についてその試作結果を報告する.

責任著者(Corresponding author)

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