パルスレーザを用いたPCD製正方配列砥石の開発

山口 哲郎; 天本 祥文; 仙波 卓弥

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.261.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: C62

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.261.0

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主催: 社団法人精密工学会

パルスレーザを用いたPCD製正方配列砥石の開発

*山口哲郎, 天本祥文, 仙波卓弥

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キーワード: レーザ加工, マイクロ加工, マイクロ研削

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抄録

機械的除去加工を用いて3次元微細形状の加工を行うためには,工具の性能向上が欠かせない.本研究ではPCDを工具材料として用い,パルスレーザを用いて成形,および表面の凹凸化を試みた.パルスショットによって加工される穴の間隔を制御することによってPCD表面を規則的な凹凸状とすることに成功した.また,半球状のPCD表面を同様に凹凸状とすることも試みた.

責任著者(Corresponding author)

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