格子投影形状計測における多数の基準面を用いたキャリブレーション手法

藤垣 元治; 松永 康寛; 村田 康太郎; 松井 徹; 森本 吉春

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.587.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: G08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.587.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

格子投影形状計測における多数の基準面を用いたキャリブレーション手法

*藤垣元治, 松永康寛, 村田康太郎, 松井徹, 森本吉春

著者情報

キーワード: 形状計測, 複数の基準面, 格子投影法, 校正, 歪曲収差

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

格子投影形状計測における多数の基準面を用いたキャリブレーション手法を提案する.高さ方向に微小量ずつ平行移動させながら,各高さにおいて投影格子の位相分布を求め,そこからカメラの1画素ごとに位相と高さのテーブルを作成する.この手法によりレンズの歪曲収差の影響や投影格子の輝度むらによる位相誤差の影響のない精度のよい形状計測が容易に実現できる.その原理と効果について報告する.

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）