小径エンドミルによる弾性高分子材料の微細切削加工に関する研究

加工条件が表面粗さに及ぼす影響

抄録

マイクロ流体チップ材料として使用されるPDMSは低弾性であるため，切削などの機械加工が困難であった．PDMSはガラス転移点以下で硬化する特性がある．本研究では，PDMSを液体窒素中で硬化させ，小径エンドミルを用いて極低温下で微細流路を形成する手法を提案し，加工条件が表面粗さに及ぼす影響について調べた．また，PDMSに形状精度の高い複雑３次元形状の微細溝加工が可能であることを明らかにした．