チャネルドスペクトルを用いた膜厚計測法（第1報）

抄録

薄膜や多層化された膜厚を計測するため分光干渉計に計測法を検討している．本研究は第1報として，チャネルドスペクトルを用いたフィッティング法によって屈折率，分散，吸収係数の解析を試みた．