反射角の変化を用いた形状計測におけるセッティング誤差の補正

抄録

光学機器の反射鏡に用いられる非球面形状には高精度なものが要求される。その形状の計測法の一つに反射角の変化用いる方法がある。この方法は、面計測手法の一種であり短時間に計測を行える特長がある。しかし、被測定物のセッティング誤差により元形状と比較する計測点がずれ、測定誤差が生じる。そこで、本報告では格子投影法において被測定物のセッティング誤差によって生じる測定誤差の補正方法について述べる。