計測融合型加工システムによる工具刃先運動の転写率の測定（第１報）

システム開発

抄録

本研究では，サブミクロンオーダで工具刃先運動の転写現象を調査するために，走査型の機上計測と高精度な測定基準を用いた運動計測を組み合わせた加工システムを開発する．機上計測の結果に含まれる加工機の運動誤差は，運動計測の結果を用いて測定結果から除去される．本論文では，開発したシステムにおいて，ダイヤモンド工具を用いた正弦波形状のシェーパ加工を行い，工具刃先運動とワーク形状とをサブミクロンオーダで比較して，転写率の測定を行う．