周波数可変レーザを用いたピコメートル干渉測長法の開発

第六報 周波数可変レーザを用いた変位計測の屈折率変動補償

抄録

精密工学の分野で広く持ちいられるレーザ干渉計の出力に混入する周期誤差と屈折率変動に対して各メーカで様々な対策が行われている。これらの問題に対して、これまでに原理的に周期誤差のない周波数可変レーザを用いた変位計測法を屈折率変動に対しては周波数可変レーザを用いた実時間屈折率変動計測法の提案を行ってきた。本報ではこれまで開発してきた双方の技術を組み合わせて変位計測の屈折率変動補償を試みたので報告する。