石英ガラスの鏡面研削

抄録

研削加工で石英ガラスを鏡面にすることを目的とし，レジノイドボンドダイヤモンドホイール#1500および#3000のドレッシング方法を検討した。結合度の異なる2種類の一般砥石と生材を研削する方法によりドレッシングを行い，それぞれのSEM像を合成した立体写真を観察した結果，点滴状に注液した状態で結合度が低い一般砥石を用いた場合のドレッシング性が良好であった。さらに，石英ガラスを研削加工しその性能を確認した。