金属ガラス製マイクロ微細部品の精密成形

抄録

近年，LSIの微細化・高集積化が進み，その電極パッドは狭ピッチ化している．LSIは製造過程において，ICプローブにより電気特性を検査する．そのためICプローブにも微細化と狭ピッチ化が必要となる．本研究では，より微細なICプローブを開発するために金属ガラスに着目した．金属ガラスはばね材に適した高強度・高弾性限界を有する．さらに等方・均質材料ゆえにその寸法効果は小さく，ガラス成形が可能である．本実験では，平面型と微細なV溝を加工した金型を用いて，金属ガラスの基礎成形実験を試みたので報告する．