超精密加工用高速リニア駆動テーブルの研究開発

抄録

非軸対称形状や自由曲面形状などの複雑な超精密形状を高速に加工するため，超精密加工装置に搭載可能な小型かつ高速な超精密リニア駆動テーブルを開発した．テーブルは，セラミックス製高剛性エアースライドと0.5nm分解能のスケールユニットを装備し，最大加速度約170Gを達成可能と見込まれる.