ナノインプリントを用いた微細パターンと基盤形状の高精度同時形成

井口 宗久; 坂本 泰良; 安部 武之; 明瀬 憲由; 澤田 廉士

doi:10.11522/pscjspe.2008A.0.873.0

2008年度精密工学会秋季大会

セッションID: K37

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008A.0.873.0

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主催: 社団法人精密工学会

ナノインプリントを用いた微細パターンと基盤形状の高精度同時形成

*井口宗久, 坂本泰良, 安部武之, 明瀬憲由, 澤田廉士

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キーワード: ナノインプリント, 低偏心, ロータリーエンコーダ, フォトリソグラフィ

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抄録

モータなどの高精度な回転角制御に使用されるロータリマイクロエンコーダの回折格子スケールの形成において，回転シャフトを挿入する貫通穴と同心のリング状の微細な凹凸からなる回折格子パターンをナノインプリント技術により同時に形成することにより，貫通穴とリング状に形成した回折格子パターンの中心ずれを3ミクロン以内に入れることができ，調芯作業を行わずに偏心を防ぎ一括生産性をも可能にした．

責任著者(Corresponding author)

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