大型X線ミラー用スティッチング干渉計の開発

木村 隆志; 大橋 治彦; 三村 秀和; 山川 大輔; 津村 尚志; 岡田 浩巳; 増永 竜彦; 仙波 泰徳; 後藤 俊治; 石川 哲也

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.1079.0

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: N34

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008S.0.1079.0

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主催: 社団法人精密工学会

大型X線ミラー用スティッチング干渉計の開発

*木村隆志, 大橋治彦, 三村秀和, 山川大輔, 津村尚志, 岡田浩巳, 増永竜彦, 仙波泰徳, 後藤俊治, 石川哲也

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キーワード: 形状計測, X線ミラー, 干渉計

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抄録

本研究グループでは非球面ミラーを用いた硬X線集光技術の開発を行っている．X線ミラーは集光強度が高く，波長依存性を持たないという優れた特性を持っているが，その性能は形状誤差や表面粗さに大きく影響されるため，大型のものを作製するには非常に高い計測精度が要求される．今回我々は位相シフト干渉計を用いた大型ミラー用形状計測システムの開発と評価を行った．結果，P-V3nm以上の精度で計測が行えることを確認した.

責任著者(Corresponding author)

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