数値制御ローカルウェットエッチング法による高精度光学素子の作製

中性子集光用楕円面ミラーの試作

抄録

現在、最先端の基礎科学分野においては、形状精度がナノメータオーダの硬Ｘ線集光ミラーや、中性子集光用ミラーが要求されている。しかし、従来の機械加工では、表面へのダメージや母性原理のために、要求精度を満足することはきわめて困難である。我々が開発しているNC-LWE法は非接触かつ高精度な加工が可能である。本報では、合成石英基板を用いて楕円面ミラーを作製し、その形状及び表面粗さを評価した。