非接触式機上測定システムを用いた単結晶ダイヤモンド切削工具のオンマシン測定

抄録

超精密光学素子の高精度な加工のためには，工具の形状や位置情報は重要な要素である．工具の測定を加工機上で行うことができれば，付け外しの誤差なく，補正加工をインプロセスで行える．本報では，加工機上で工具を高精度に測定するため，非接触式機上測定システムを用いた．その結果，ダイヤモンドバイトを加工機上で高精度に測定できた．これにより，より高精度な加工が実現でき，磨耗などの工具状態の変化にも対応できる．