フライカットによるZnSの微細溝加工

抄録

ZnS（硫化亜鉛）は赤外線に対し優れた透過特性を持つ光学材料であり，赤外線観測機器用回折格子などへの適用が期待されている．回折格子は微細溝構造であるため，刃先を鋭利に成形可能なダイヤモンドバイトを用いたフライカットにより，脆性材料であるZnSにピッチ30μｍの微細溝加工を試みた．その結果，溝長さ約1ｍまで延性的な加工面が得られた．