主催: 社団法人精密工学会
東京工業大学 情報理工学研究科 情報環境専攻
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レーザ干渉計など高精度非接触測定機が広く使用されているが，対象表面の反射率や表面性状などに影響される問題がある．我々は，反射率改善のため，スパッタリング装置を用いてAl膜を生成した基準球の製作を行った．このとき，反射率に加えて均一な膜生成が，基準球として要求される．そこで，膜厚精度の評価のために，走査型白色干渉計を用い，球の極部から赤道部にわたる膜厚分布測定を行ったので，その結果について報告する．
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