アルミニウム合金切削用DLCコーティング工具の開発 水素含有量が膜質に及ぼす影響

皆木 一志; 北嶋 弘一; 中平 佑; 島 順彦; 杉本 隆史

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.177.0

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: B81

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008S.0.177.0

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主催: 社団法人精密工学会

アルミニウム合金切削用DLCコーティング工具の開発

水素含有量が膜質に及ぼす影響

*皆木一志, 北嶋弘一, 中平佑, 島順彦, 杉本隆史

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キーワード: DLC, 切削工具, アルミニウム合金, コーティング, 膜, 水素

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抄録

アルミニウム合金に代表される延性に富む非鉄金属材料の切削においてDLC薄膜の切削工具への適用が検討されてきているが，薄膜の剥離やチッピング等の問題が懸念されている．本研究では成膜条件ならびに成膜後の処理によって水素含有量の異なる傾斜膜構造を形成させ，良好な密着性，摺動性を有するコーティング工具の開発を目指す．

責任著者(Corresponding author)

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