プラナリゼーションCMP とその応用（キーノートスピーチ）

過去・現在・そして未来

抄録

Mooreの法則に従った微細化要求を実現するために、既存プロセス技術の限界を先送りする強力なツールとして登場したCMPは、新材料の導入無しには微細化と性能向上が不可能となったこの十年余りで、新材料導入のためのブレークスルーとして必須技術となった。本発表では、CMPが必要となった背景・実用上の課題を整理するとともに、今後の応用分野として検討が進められているモジュール技術に関して紹介する。