揺動速度制御研磨による矩形ガラス材の高平坦化（第１報） 正方形ガラス材の研磨特性

吉冨 健一郎; 宇根 篤暢; 餅田 正秋

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.285.0

抄録

液晶パネル製造に使用されるガラス基板やフォトマスクは大型化が進み，大面積化に伴う平坦度の向上が問題となっている．これらの試料は矩形であるため，従来の回転系研磨機では高平坦化が難しく，特にコーナ部の平坦度向上が困難である．本報告では，試料回転と工具の直線揺動を同期させた矩形工具軌跡による研磨実験を行い，その基本特性を明らかにするとともに，研磨シミュレーションと比較した結果について報告する．

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[title in Japanese]
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責任著者(Corresponding author)

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