開発したシュミレータによる研磨加工の評価

抄録

さまざまな光学装置にレンズは使用されており、これらの装置に求められる性能が高くなる中、レンズの仕様は厳しくなっている。そこで、レンズの 加工法の一つである研磨加工について、レンズ性能向上のために研究を行った。第一段階として、研磨加工中で変化する様々な要因が、加工後の形状に及ぼす影響を検討するための平面研磨用のシミュレータを開発した。次に、この シミュレータを用いて、加工中の圧力変化の影響を算出した。