面領域表面性状測定機を対象とした粗さ用標準面実量器の開発

櫻井 貴文; 根本 賢太郎; 柳 和久; 明田川 正人; 吉田 一朗

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.455.0

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: F13

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008S.0.455.0

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主催: 社団法人精密工学会

面領域表面性状測定機を対象とした粗さ用標準面実量器の開発

*櫻井貴文, 根本賢太郎, 柳和久, 明田川正人, 吉田一朗

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キーワード: 三次元面領域計測, 粗さ用標準面, 実量器

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抄録

面領域表面性状測定機の特性を検証するため，標準面の必要性が議論されている．本研究では，非因果的二次元自己回帰型数学モデルにより作成された不規則表面データを基に，超精密加工機と極小径ボールエンドミルにより標準面を製作した．製作した標準面を表面性状測定機により測定し，測定データと不規則表面データを比較検討するとともに，表面性状測定機間の測定データも比較検討した．

責任著者(Corresponding author)

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