欠測値に対応したガウシアンディジタルフィルタに関する研究

抄録

筆者らは，実際の表面性状測定データに存在する欠損値に対応するフィルタについて，すでに報告を行った．本研究では，このフィルタについてさらに数学的な検証を行った．また，特に方向性に注目し，さまざまなシミュレーションデータによりその振る舞いを把握した．さらに欠損値を持つ実際の表面形状計測データに適用して，その有用性を確認した．