マルチボールアーティファクトの測定誤差要因

近藤 余範; 笹島 和幸; 大澤 尊光; 佐藤 理; 小森 雅晴

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.467.0

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: F20

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008S.0.467.0

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主催: 社団法人精密工学会

マルチボールアーティファクトの測定誤差要因

*近藤余範, 笹島和幸, 大澤尊光, 佐藤理, 小森雅晴

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キーワード: マルチボールアーティファクト, ピッチ, 歯車測定機

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抄録

筆者らは，歯車測定ピッチ測定の新しい校正基準としてマルチボールアーティファクト（MBA）を提案した．このMBAは，基準軸用の円柱（もしくは球），基準平面，および基準平面に接して円柱周りに配置される球から構成される．球，円柱，平面は数十nmオーダで製作できるので，MBAは高精度な等間隔基準になり得る．本報告では，MBAの角度測定に及ぼす誤差要因（各要素の形状および取付け誤差，回転誤差等）を明らかにする．

責任著者(Corresponding author)

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