半導体の線幅標準に関する研究（第3報） STEM画像による線幅のエッジおよびピッチの決定

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: F21

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主催: 社団法人精密工学会

半導体の線幅標準に関する研究（第3報）

STEM画像による線幅のエッジおよびピッチの決定

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キーワード: 線幅, 標準

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抄録

半導体産業の高集積化において，回路線幅の計測と評価は大きな役割を果たす．しかし現在，半導体の回路線幅の測定に関して,明確な基準はなく，エッジの決め方で不確かさが生じてしまう．本報では，STEM画像を解析することで，線幅パターンのエッジおよびピッチを決定する方法を検討したので報告する．