傾斜角積分法による超精密形状計測法

自立較正法による法線ベクトル測定点の座標位置の高精度化

抄録

基準面を使用しないで光の直進性を利用して測定面の各点の法線ベクトルを測定し、補間、積分することにより形状を求める。積分時に法線ベクトル測定点の位置座標の精度が形状精度に反映されるため、本報告では測定点座標位置の誤差を自立校正法により精度を向上させた結果について、曲率半径１～３ｍの凹面ミラーの測定結果について報告する。