二軸直動ステージの真直度評価 第2報

実機による検証実験

抄録

精密加工機，半導体製造装置であるステッパ，SEMなどの電子顕微鏡がある．これらの機器をより信頼性のあるものにするために，高精度位置決めステージを作る必要がある．しかしながら，真直度の測定誤差に注目すると．2つ以上のセンサを用いた測定方法が広く使われている．しかし，その方法ではゼロ点誤差を取り除くことができない．そこで、ゼロ点誤差を考慮せずに，XとY方向の真直度を同時に測定する新しい方法を提案する．