レジスト表面形状の計測（第五報）

マルチトポセンサの提案

抄録

本研究では，広い範囲のレジスト薄膜面形状を高さ方向に高速，高精度的に計測する方法として，メカノオプトプローブを用いる光計測と機械的接触を組み合わせた新しい計測手法の確立を目指している。本報では，新たに２次元一括計測を目的として，メンブレン上の２次元面内に複数のプローブを配置したマルチトポセンサを提案する。そして，提案したマルチトポセンサの計測特性について検討を行ったので報告する。