超音波スピンドル装置の開発に関する研究（第2報）

微細形状加工に対する効果

抄録

周波数40kHzで超音波振動し、回転数2万min-1で高速回転する小型の超音波スピンドルを開発した。各種の小径細長工具による微細加工実験を行なった結果、従来の小型スピンドルでの加工に比べて加工精度向上を実現できることを明らかにした。