微少流量制御マイクロポンプの開発

森嶋 昭文; 鷹股 淳; 槌谷 和義; 上辻 靖智

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.535.0

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: G02

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008S.0.535.0

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主催: 社団法人精密工学会

微少流量制御マイクロポンプの開発

*森嶋昭文, 鷹股淳, 槌谷和義, 上辻靖智

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キーワード: マイクロポンプ, ピーゼットティー, 圧電アクチュエータ, スパッタリング, 薄膜, 流量制御

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抄録

本研究ではポンプ部と針を一体化させた医療用マイクロポンプを提案する．円筒型PZT素子をシリコンチューブ上に配列したマイクロポンプを作製し，流動性を確認した後，流動機能の向上を図った．本研究の最終目標はスパッタ法を応用してマイクロポンプの小型化を行うことである．本報では，アクチュエータ材料であるPZTの円筒形薄膜創製のため，平面基板上にPZT薄膜を創製し，組成比および結晶性の評価を行った．

責任著者(Corresponding author)

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